功率器件的寄生參數(shù)會導(dǎo)致非理想的硬開關(guān)曲線。這些寄生參數(shù)包括器件本身的各種寄生電感和外面PCB板布線造成的寄生電感，電阻：
這其中比較重要的是源極和漏極寄生電感。特別是氮化鎵功率器件工作在較高的頻率，有較大的dv/dt, di/dt變化率。這些寄生參數(shù)會影響門極電壓，漏極電流/電壓，對器件可靠性和系統(tǒng)EMI造成不利影響。
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