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氮化鎵外延片工藝流程
時(shí)間：2023-04-12 作者： 分類(lèi)：技術(shù)文章 瀏覽：1035次

氮化鎵外延片的襯底材料可以是硅、碳化硅或者是藍(lán)寶石。外延層通常采用MOCVD的方式實(shí)現(xiàn)低成本、高產(chǎn)出率