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氮化鎵外延片工藝流程
Release date:2023-04-12 Writer: Category:Technical Article Views:703次

氮化鎵外延片的襯底材料可以是硅、碳化硅或者是藍寶石。外延層通常采用MOCVD的方式實現(xiàn)低成本、高產(chǎn)出率