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簡(jiǎn)化的氮化鎵生產(chǎn)工藝流程（耗盡型）
Release date:2023-04-13 Writer: Category:Technical Article Views:471次

為了讓大家更好的理解氮化鎵功率器件的工藝流程，這里準(zhǔn)備了一個(gè)簡(jiǎn)化的耗盡型氮化鎵功率器件的工藝步驟。第一步也是第一張光罩，是做平臺(tái)型的隔離蝕刻；第二步，第二張光罩定義了源極和漏極；第三步是沉積源極和漏極的金屬；第四步是玻璃和退火，形成源極和漏極金屬；第五步，用第三張光罩來(lái)定義門極；第六步是做門極金屬沉積；第七步是金屬剝離，以形成門極金屬；第八步是沉積氮化硅實(shí)現(xiàn)鈍化和保護(hù)；第九步是使用第四張光罩來(lái)定義源極和漏極的接觸；第十步是利用第五張光罩來(lái)定義場(chǎng)板；第十一步是金屬剝離來(lái)形成場(chǎng)板，第十二部是沉積第二層氮化硅鈍化層。